產(chǎn)品介紹

ILS 中行程鋁直流電機線性平移臺產(chǎn)品規(guī)格

型號
	ILS50CC	ILS100CC	ILS150CC	ILS200CC	ILS250CC
行程范圍	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度 1	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s
最小位移增量	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm	1000 nm
中心負載能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
軸向負載 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆軸向負載能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.6 µm	±0.8 µm	±1.5 µm	±1.2 µm	±1.7 µm
精度，保證值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm	±3.7 µm	±5.0 µm
單向重復(fù)精度，典型值	±0.20 µm	±0.25 µm	±0.25 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
單向重復(fù)精度，保證值	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.50 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
雙向重復(fù)精度，典型值	±0.40 µm	±0.40 µm	±0.45 µm	±0.45 µm	±0.60 µm
雙向重復(fù)精度，保證值	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm	±1.0 µm
俯仰，典型值	±15 µrad	±20 µrad	±37 µrad	±37 µrad	±42 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺，典型值	±12 µrad	±17 µrad	±20 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏擺，保證值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏擺順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原點重復(fù)精度	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺紋類型 2	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注釋:

ILS-CCL版本可供選擇。

1. 對于 ILS-CCL 版本，最大速度降低到 50 毫米/秒。

2. 公制 M- 版本可供選擇。

型號
	ILS50HA	ILS100HA	ILS150HA	ILS200HA	ILS250HA
行程范圍	50 mm	100 mm	150 mm	200 mm	250 mm
最大速度	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s	100 mm/s
最小位移增量	300 nm	300 nm	300 nm	300 nm	300 nm
中心負載能力	250 N	250 N	250 N	250 N	250 N
軸向負載 (+Cx)	40 N	40 N	40 N	40 N	40 N
逆軸向負載能力 (-Cx)	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N	-40 N
精度，典型值	±0.3 µm	±0.6 µm	±1.2 µm	±0.8 µm	±1.5 µm
精度，保證值	±1.25 µm	±1.5 µm	±2.0 µm	±3.0 µm	±3.75 µm
單向重復(fù)精度，保證值	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm	±0.20 µm
單向重復(fù)精度，典型值	±0.08 µm	±0.08 µm	±0.08 µm	±0.08 µm	±0.10 µm
雙向重復(fù)精度，典型值	±0.10 µm	±0.10 µm	±0.15 µm	±0.15 µm	±0.15 µm
雙向重復(fù)精度，保證值	±0.35 µm	±0.35 µm	±0.35 µm	±0.35 µm	±0.35 µm
俯仰，典型值	±17 µrad	±25 µrad	±50 µrad	±35 µrad	±45 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±50 µrad	±75 µrad	±100 µrad	±125 µrad
俯仰順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺，典型值	±7 µrad	±17 µrad	±25 µrad	±25 µrad	±30 µrad
偏擺，保證值	±25 µrad	±37 µrad	±65 µrad	±80 µrad	±95 µrad
偏擺順應(yīng)性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
原點重復(fù)精度	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm	±0.1 µm
電纜長度	3 m	3 m	3 m	3 m	3 m
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	4.2 kg	4.5 kg	4.8 kg	5.1 kg	5.4 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
RoHS

注釋:

1. 公制 M- 版本可供選擇。

ILS 中行程鋁直流電機線性平移臺特征

高速高重復(fù)度直流電機

直流電機的最大特點是速度快，運動平穩(wěn)，效率高，功率/重量比高。 因此，對于要求高動態(tài)速度和嚴格可重復(fù)性的應(yīng)用，它們比步進電機平臺更可取。 ILS-CC和ILS-HA平臺與Newport的 XPS 和ESP301 運動控制器。 ILS-CCL級僅與Newport的 SMC100CC 運動控制器兼容，其最大速度為 ILS-CC的一半。

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

FEM - 優(yōu)化的鋁制機身

有限元法（FEM）用于優(yōu)化ILS系列舞臺鋁制車體的結(jié)構(gòu)設(shè)計，從而在不降低重量的情況下實現(xiàn)很高的剛度并大程度地減少了雙金屬彎曲。 剛體設(shè)計減少了載荷下的撓曲，從而在鋁制載物臺設(shè)計中實現(xiàn)了最高的性能。 還提供了FEM優(yōu)化的IMS平臺，可提供更長的行程范圍，更高的負載能力和更大的移動平臺。

旋轉(zhuǎn)或線性編碼器選項

4000 pts/rev 的編碼器直接安裝在螺桿上，這樣可防止出現(xiàn)螺桿/電機耦合誤差，從而提高平移臺運動精度。HA 版本具有 0.3 µm MIM 的集成線性標度。

旋轉(zhuǎn)編碼器                                           線性編碼器

循環(huán)滾珠軸承滑塊

借助精確的線性軌跡，循環(huán)滾珠軸承滑軌可提供優(yōu)異的有效載荷和更長的使用壽命。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問題，該問題通常出現(xiàn)在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。

無側(cè)隙滾珠絲杠

ILS 平移臺包含有預(yù)裝的無側(cè)隙滾珠絲杠，可實現(xiàn)具有較短步進時間和穩(wěn)定時間的平滑且快速的運動。螺桿型材的設(shè)計在于減少熱效應(yīng)，從而延長平移臺的使用壽命。

其他ILS位移臺特性

牢固的頂蓋可防止傳動系統(tǒng)的損壞，并且可使其免受灰塵和碎屑的影響。ILS 系列平移臺還配有實現(xiàn)可重復(fù)初始化的位于行程中心的原點、防止超程的限位開關(guān)以及用于平穩(wěn)緊急制動的彈性行程終點阻尼器。

誤差顯示服務(wù)

對于關(guān)鍵的定位應(yīng)用，Newport 提供微定位校準服務(wù)。當(dāng)我們的 XPS 高級運動控制系統(tǒng)發(fā)出指令時，我們將創(chuàng)建、實施和驗證電子補償過程，從而提高所選 ILS-HA 系列平移臺的絕對位置精度。此外，還可以使用多軸微定位校準服務(wù)。 測試在20.0±0.2℃下進行。我們將提供您的平臺校準證書，也可根據(jù)要求提供實際數(shù)據(jù)。

多軸裝配

Newport的標準電動平移臺和部件可以很容易地組合，以創(chuàng)建數(shù)百種可能的多軸系統(tǒng)。根據(jù)產(chǎn)品和應(yīng)用的不同，我們的標準組件提供以下精密對準:

●Orthogonality to 50 µrad

●Axes Coincidence to 20 µm

XY裝配

IMS300線性平移臺（X軸）和ILS150線性平移臺（Y軸）直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸上實現(xiàn)高精度。

X-Θz 裝配

ILS150線性位移臺（X軸）和URS100旋轉(zhuǎn)位移臺（θz角）直接安裝在一個直線運動的軸和一個旋轉(zhuǎn)運動的軸上，以實現(xiàn)高精度和高精度。

XYZ 裝配

IMS線性平移臺（X軸），一個ILS線性平移臺(Y軸）直接安裝到IMS，ILS線性平移臺安裝在一個EQ120直角托架上 (Z-軸)，在三個線性運動軸上提供高精度。

X-Θy 裝配

ILS線性位移臺和 RV旋轉(zhuǎn)位移臺安裝在 EQ120 直角支架，用于在一個直線運動的軸和一個旋轉(zhuǎn)運動的軸上提供高精度和高精度。

XZ-Θz 裝配

ILS250線性位移臺（X軸）， GTS30V垂直位移臺（Z軸）和 URS100旋轉(zhuǎn)臺（Θz角）直接安裝 在兩個線性運動軸和一個旋轉(zhuǎn)運動軸上，具有較高的精度和精度。

XY-Θz 裝配

IMS300線性平移臺（X軸），一個ILS150線性平移臺（Y軸）和一個URS100轉(zhuǎn)臺 (Θz 角)直接安裝在一起，以便在兩個線性運動軸和一個旋轉(zhuǎn)運動軸上實現(xiàn)高精度。

免費提供計量報告

Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

ILS平移臺負載特性

Compatible Controllers

The ILS-CC and ILS-HA versions are compatible with XPS-D, XPS-RLD and legacy XPS-RL motion controllers. To use an XPS controller, the appropriate driver module (sold separately from the controller) shown in the table below must drive the stage.

The ILS-CC and ILS-HA are also plug-and-play compatible with the ESP302 and legacy ESP301 motion controllers.

The ILS-CCL is compatible only with the SMC100CC single-axis DC motor motion controller.