產品介紹

ILS-LM 系列中檔行程線性電機動平移臺產品規(guī)格

型號
	ILS100LM-S	ILS200LM-S	ILS300LM-S
行程范圍	100 mm	200 mm	300 mm
最小位移增量	10 nm	10 nm	10 nm
最大速度	500 mm/s	500 mm/s	500 mm/s
連續(xù)運動力	20 N	20 N	20 N
峰值驅動力	72 N	72 N	72 N
中心負載能力	250 N	250 N	250 N
精度，典型值	±0.5 µm	±1.0 µm	±1.2 µm
精度，保證值	±1.5 µm	±2.0 µm	±2.5 µm
雙向重復精度，典型值	±0.12 µm	±0.12 µm	±0.12 µm
雙向重復精度，保證值	±0.30 µm	±0.30 µm	±0.30 µm
俯仰，典型值	±20 µrad	±40 µrad	±40 µrad
俯仰，保證值	±110 µrad	±135 µrad	±150 µrad
俯仰順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
偏擺，典型值	±15 µrad	±25 µrad	±25 µrad
偏擺，保證值	±100 µrad	±125 µrad	±150 µrad
偏擺順應性	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm	10 µrad/Nm
滾轉順應性	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm	15 µrad/Nm
螺紋類型 1	2001-4-20	2001-4-20	2001-4-20
重量	2.9 kg	3.7 kg	4.5 kg

注釋:

1. M- 版本使用 M6 螺紋安裝孔

ILS-LM 系列中檔行程線性電機動平移臺特征

高速高性能直線電機

ILS-LM采用居中，高效的三相同步無鐵線性電機作為驅動元件。 該驅動系統(tǒng)無噪音，可提供更高的速度，加速度和系統(tǒng)響應速度，而不會因電刷或驅動螺釘而引起磨損。 而且，ILS-LM比同類的螺桿驅動平臺短150毫米以上。 這是解決對于需要高吞吐量，高可靠性和靜音操作的空間受限應用的最佳方案。

ILS Stage Motor Options

ILS Series stages are available with the following motors:

●Stepper Motor (ILS-BPP) - For less demanding applications, a stepper motor can be a more economical solution than a DC motor.

●High-torque DC motor (ILS-CC) - Best characterized by their high speeds, smooth motion, good efficiency and a high power/weight ratio, DC motors are preferable to stepper motor stages for applications requiring high dynamic speed and tight repeatability.

●Linear Motor (ILS-LM) - The ILS-LM employs a centered, high efficiency 3-phase, synchronous ironless, linear motor. This drive system is noise-free and provides higher speed, acceleration and system responsiveness without the wear associated with motor brushes or drive screws.

FEM - 優(yōu)化的鋁制機身

有限元法（FEM）用于優(yōu)化ILS-LM工作臺鋁制車身的結構設計，從而實現(xiàn)較高的剛度并在不影響重量的情況下將雙金屬彎曲降至很低。 剛體減少了負載下的撓曲，從而在鋁制載物臺設計中實現(xiàn)了最高的性能。 還提供經FEM優(yōu)化的 IMS-LM 位移臺，行程更長，負載能力更高 和更大的移動平臺。

循環(huán)滾珠軸承滑塊

借助精確的線性軌跡，循環(huán)滾珠軸承滑軌可提供優(yōu)異的有效載荷和更長的使用壽命。它可以緩解滾珠軸承罩移位的問題，該問題通常出現(xiàn)在線性滾珠軸承或交叉滾子軸承上。

納米分辨率線性編碼器

精確的位置反饋由安裝在平臺上的非常可重復的線性標尺提供。 編碼器信號由Newport的 XPS 運動控制器內插，具有納米分辨率，可提供出色的位置靈敏度，可重復性和穩(wěn)定性。 以相同的比例合并原始位置，避免使用其他電子設備或機械來提高可靠性和準確性。

硬質塞子

ILS-LM位移臺使用電動行程終端和橡膠緩沖器硬限位器，以在行駛結束時盡可能平穩(wěn)地停止滑架。 保險杠允許的超程為3.5毫米，與Newport XPS 一起使用時 控制器，不允許任何超出行程范圍的命令運動。

誤差顯示服務

對于關鍵的定位應用，Newport 提供微定位校準服務。當我們的 XPS 高級運動控制系統(tǒng)發(fā)出指令時，我們將創(chuàng)建、實施和驗證電子補償過程，從而提高 Newport ILS-LM 平移臺的絕對位置精度。此外，還可以使用多軸微定位校準服務。 測試在20.0±0.2℃下進行。 您的平移臺將提供校準證書，也可根據(jù)要求提供實際數(shù)據(jù)。

免費提供計量報告

Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。

偏離中心裝載ILS-LM位移臺

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these linear motor driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires XPS-DRV02 Driver Module, XPS-DK26 Cable Kit and E5820A  Encoder Adapter.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV02 Driver Module, XPS-DK26 Cable Kit and E5820A Encoder Adapter.